关于OTFC系列
OTFC-1100
OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
- 特征
- 真空室尺寸:Φ600-1800mm
- 60点/80点式光学膜厚监控
- 使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
- 搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上
- 利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
- 工件架可选择钟罩式或行星式
- 排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
- 规格
- 设备名称 OTFC-1100CBI/DBI
- 真空室 SUS304, φ1100mm×1520mm (H)
- 工件架 φ950mm
- 工件架转速 10rpm to 50rpm(可变)
- 光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围:350nm to 1100nm反射式/透射式可选
- 水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器
- 蒸发源 电子枪2套
- 离子源 17cmRF离子源
- 排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
- 性能
- 达到压力 7.0×10-5Pa以下
- 排气时间 15分(大气压~1.3×10-3Pa)
- 基板温度 最高:350℃
- 工作条件
- 设备尺寸 约5000mm(W)×6000mm(D)×3300mm(H)
- 电源 3相,200v,50/60Hz, 约100KVA
- 水流量 120升/分以上
- 空气压力 0.5MPa以上
- 重量 约7200kg