ALDER

ALDER-800TBS

ALDER-800TBS (A800TBS) 是一种热模式 ALD 系统,具有大容量负载锁定机制,可实现高通量、高均匀性和出色的重现性。

特征
专为 LED 等高通量 ALD 应用而设计
以良好的再现性实现高度均匀的沉积工艺
6 秒以下的快速 ALD 循环
维护周期长